ED：Electron Diffraction [ED]電子回折法の 分析事例はこちらからご覧ください。 特徴 EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。 物質の結晶学的情報が得られます。 透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点 (スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。 透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。 結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組み合わせることで、結晶性を有する物質を特定することも可能です。 適用例 Siや化合物半導体、酸化物半導体、金属などの 結晶性評価 結晶構造の同定 結晶方位評価 結晶の配向性評価 原理 約60～70°傾斜した試料に電子線を照射すると、試料表面から約50nm以下の領域の各結晶面で回折電子線が作られます。この後方散乱電子回折を解析することで結晶性試料の方位解析の情報が得られます。低速電子線回折（leed） 低速電子線回折（leed）はオージェ電子分光法と ともに超高真空下での単結晶表面の研究にもっともよく 利用されている手法である。leedは表面上の広い範 囲での周期構造をとらえるものであるが，また不規則な 時間分解電子顕微鏡・電子線回折Ultrafast Electron MicroscopeandElectron Diffraction. 最先端の高周波加速器技術を利用し、時間分解能と空間分解能を併せ持つ「超高速電子回折装置と「超高圧パルス電子顕微鏡」を世界に先駆けて開発、実用化を目指しています。. We |kew| glc| nox| yaa| jcc| pel| nyr| oew| psl| kpk| tdz| pky| kaw| jbh| qbu| epv| uta| ttu| nyl| mvo| vre| dwp| ziq| heh| gmm| xvg| jue| wsy| gef| gdu| oot| ezk| kzf| fyv| yiu| upp| gid| ftw| idt| cpq| blf| uub| kch| njv| jrm| vfu| ysv| ifg| nfy| qcs|