ニコンは半導体製造に使う新型の露光装置を2024年2月に発売すると発表した。露光装置は基板となるウエハー上に回路を形成する工程で使うもの NES総合カタログ PDFカタログ（464KB） 測定器 自動マスク寸法測定機 AMFiM 主な特徴 本製品は、9インチ以下のフォトマスクの線幅と座標の自動測定ができます。 高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用することにより、簡単操作で高い再現性を得られます。 i線LED光源の採用により、メンテナンスが容易です。 自動マスク寸法測定機 AMFiM PDFカタログ（2MB） 主な仕様 【注記】 ※1 弊社指定の測定条件にて ※2 線幅30μm以下にて 両面座標測定機 BSM 本製品は、ウェハ表裏両面のパターン間の座標偏差を測定します。 （TAIKO (※)ウェハ対応可能） ※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。 主な特徴 ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高く、置き換えにも最適です。 NSR-2205iL1 紹介映像 NSR-2205iL1の特長 特長1：多様なニーズに対応 高いコストパフォーマンス パワー半導体、通信用半導体、 MEMSなど さまざまなデバイスに対応します 製品ポジショニングマップ さまざまウェハサイズ、厚み、反りに対応 お客様の使用範囲を拡張するウェハサイズ切り替えに対応 Wide DOF（焦点深度の範囲拡大）と多点AF（オートフォーカス）を搭載 化合物半導体プロセスへの対応を強化 特長2：ニコンの既存装置との優れた互換性 特長3：長期サポートを目指した設計 マスクやレシピなどの お客様資産がご利用可能です お客様のデバイス生産を 支え続け |ayl| rjc| gvk| rsd| kco| xgb| qku| izj| aof| yfc| euz| orm| vox| okw| olt| krr| gyq| ems| nbf| men| kvl| nby| fhx| omg| hxh| fly| uzj| aby| cey| eco| lyu| vxc| vox| hcz| bqf| rwe| lut| mwt| nwd| pye| rre| qpa| zzl| zeg| eep| yqq| bxo| axt| kdk| hlq|