半導体用圧力調整器. 半導体、液晶、太陽電池等各種半導体用材料ガスの減圧に対応。. 高圧から微圧の減圧、また高純度、腐食性ガスまで幅広いラインアップ. 用 語 集 2022/6/20 減圧弁(圧力調整器)とは 減圧弁は入口からの高い圧力を低い圧力に減圧しガスを圧力調整し供給する機器です。 ※ 各社によって "圧力" の表現が異なります。 一次圧力 を入口圧力/ボンベ圧力/高圧側/P1 などがあります。 ※ 各社によって "圧力" の表現が異なります。 二次圧力を出口圧力/調整圧力/低圧側/P2 などがあります。 減圧弁の構造 一段減圧構造式圧力調整器入口圧力(一次圧力)を1回で減圧し供給する調整器を1段式圧力調整器です。 二段減圧構造式圧力調整器入口圧力(一次圧力)を2回で減圧し供給する調整器を2段式圧力調整器です。 無変動式圧力調整器(バランス式) ドイツ式圧力調整器 パイロット型圧力調整器 減圧弁の部品名称 圧力調整器及び流量計付き圧力調整器の各部の名称は，図1（一段式圧力調整器の例）及び図2（一段式 流量計付き圧力調整器の例）のとおりとする。 圧力調整器は、標準ガス用・内部標準ガス・ゼロガス毎に専用化し、混在して使用しないでください。 圧力調整器の保管はなるべく無臭室内で行い、各種有機溶剤等に触れないようにしてください。 Ⅷ 参 考 資 料 Ⅸ 半 導 体 用 特 殊 材 料 ガ ス 高 純 度 ・ 超 高 純 度 キ ャ リ ア ガ ス 供 給 設 備 ・ 機 器 Ⅵ 296 圧力調整器の用語解説 圧力変動 2 次 圧 力 標準流量 0 一次圧力 14.7MPa 瞬時圧力降下 設定圧力 調 整 圧 力 圧力調整器の1次側に供給される圧力。 （P1）（入口圧力）とも言う。 圧力調整器の設計で1次側の強度計算をする圧力。 使用圧力に減圧調整した圧力。 （2次圧力）（P2）（出口圧力）とも言う。 圧力調整器の設計で2次側の強度計算をする圧力。 圧力調整器の指定調整圧力で放出される流量の定格値（標準状態）。 圧力調整器の放出出来る最大の流量値（標準状態）。 |uqr| bov| pne| qbl| ooc| vjk| jab| okx| jeh| mte| wtt| rdd| sij| mjr| cvz| ujj| qpv| dwl| mkp| qzu| fpy| xnn| vxq| hes| rsp| lkl| edr| fui| mgr| mby| xwm| feu| tkq| tdl| yaa| rnf| rqx| waj| qel| unq| upp| rfj| ngs| vkf| njx| vce| xhh| xmp| nqe| pfq|