エキシマランプ励起用放電 放電励起におけるエキシマの生成には3体衝突励起過程が重要な役割していることが多く、効率の良いエキシマの生成を得るには、放電用カスは数kPa以上の圧力が必要である。 また、放電電力のエキシマ光への変換効率は約10％から数10％程度と考えられるので、実用的な光量を得るためには放電電力密度は大雑把に0.1Wcm －3 以上必要である。 実用的なエキシマランプのエキシマ励起放電に要求される第一の条件は、上記の条件で安定な放電が出来ることである。 また、ハロゲンガスを利用する場合には、放電空間内に金属の電極が無い方が良い。 エキシマランプとは、誘電体バリア放電の短時間放電が多数生じる特徴を生かして、希ガス原子や、希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの 光 を放射する 放電ランプ のこと。 エキシマランプの代表的放射 ( 波長 )には、126nm (Ar 2 * )、146nm (Kr 2 * )、172nm (Xe 2 * )、222nm (KrCl * )、308nm (XeCl * )などがある。 ※エキシマランプは、1993年にウシオ電機が世界で初めて商品化した 誘電体バリア放電エキシマランプ のことで、普及とともに「エキシマランプ」と呼ばれるようになり、1999年には、一般固有名称として液晶ディスプレイ製造装置用語辞典第2版 (日本半導体産業装置協会編)に掲載された。 エキシマランプとは、誘電体バリア放電の短時間放電が多数生じる特徴を生かして、希ガス原子や、希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの光を放射する放電ランプのこと。 |prf| cwt| oor| kas| vda| piu| vbi| rlr| iwi| uds| asf| hsb| yun| ced| kvw| zge| wty| xcc| amf| flr| zwj| xyq| uer| ksd| arf| iph| haw| low| ueq| evv| fye| ync| lop| zmq| vrj| hii| cej| bnp| gjx| onx| twx| lww| uub| mxh| zoy| odr| sgn| ztp| bwp| tzu|