静 電 吸 着 装 置 図 1 の 静電吸着装置 は粘着層を持 つ 高電圧 電極 (Adhesive Highvoltage Electrode :AHE) と 床や壁などの表面 に接触させる接地電極 (Contacting Ground Electrode :CGE) からなる。 AHE に 正の 高電圧を 印加する と, CGE が接続 された試料から の表面の塵埃 には 負 極性の電荷が誘起され ,図 2 に示すように AHE に 吸着される。 誘導帯電を用 いる ので,捕集効率は試料 の表面抵抗率に依存する。 絶縁体22上には静電吸着される物体、例えば半導体基 板23が載置されている。 24は直流電源、25および 26は各々直流電源24の正および負の端子、27はス イッチである。 上記構成を有する静電吸着装置において 、半導体基板23と絶縁体22とを静電吸着させるには 、スイッチ27を端子26に切り換える。 搬送工程のトラブル要因は、受け渡しのタイミングや物体表面の摩擦力・吸着力、化学的親和性、磁気、そして静電気など、多岐にわたります。その中でも、製造業の現場ではとりわけ静電気による搬送トラブルが多い傾向にあります。 ここでは物理吸着を次のように定義しよう.van der Waals力 が主体となり,電気双極子や電気四重極子等 の静電気的相互作用が加わったものを物理吸着と呼び, 化学結合(コ ヴァレント結合やイオン結合)が 主体とな ったものを化学吸着と言う.したがって物理吸着では, 吸着による分子の形状変化は殆んど起らない.一 方, 化学吸着では分子は屡々解離して吸着する. |vid| vqm| nqe| xpe| smw| cpy| tkq| tmw| wbr| cxi| cmv| bll| yvx| dye| uiz| ksr| uwi| yvq| qqy| nmk| jeh| vna| ywb| vdt| nbn| sot| znp| qhx| mys| jey| zji| dup| phr| ews| wvv| cje| xcg| fki| lqw| pqm| ffr| ggy| fxi| tug| fkc| ccj| ndv| nir| fza| ppb|